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Positioniersystem für Wafer

Auf Granit aufgebaut, positionieren die Linearführungen, Linearmotoren und der Rundtisch sowohl mit seiner Drehachse als auch in X- und Y-Richtung Mikrometer-genau.
Auf Granit aufgebaut, positionieren die Linearführungen, Linearmotoren und der Rundtisch sowohl mit seiner Drehachse als auch in X- und Y-Richtung Mikrometer-genau.Bild: Hiwin GmbH

Hiwin präsentiert auf der SPS mit dem Wafer Inspector eine Mikrometer-genaue Positionierlösung. Auf einem Granit aufgebaut, bilden die Linearführungen, Linearmotoren und der Rundtisch eine Positioniereinheit, die mit wenig Bauhöhe und großer Hohlwelle eine simultane Wafer-Inspektion von beiden Seiten ermöglicht. Mit dieser Lösung will der Anbieter zeigen, dass er die eigenen Einzelkomponenten auch zu hochpräzisen, kundenspezifischen Systemen zu vereinen versteht. So stellt Hiwin standardisierte Systeme zur Verfügung, die durch ihren modularen Aufbau in kurzer Zeit angepasst werden können.

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