Das Miniaturpositioniersystem XYZ-Phi-Delta von Steinmeyer Mechatronik besteht aus einem Tripod (MP200-3) und einem XY-Kreuztisch (KDT235) – beide mit Durchlichtöffnung – und soll so die Vorteile parallelkinematischer und gestapelter Systeme vereinen. Es ist hochpräzise, einfach ansteuerbar, kompakt und für Millionen von Zyklen ausgelegt. Mit Abmessungen von 235x235x170mm hoch realisiert das Positioniersystem Verfahrwege in XY von 100mm, einen Hub von 4mm sowie Kippungen in Phi und Delta von 4°. Die drei vertikal wirkenden Präzisionsachsen des Tripods sind mittels Festkörpergelenken mit der beweglichen Lastplatte verbunden. Somit lässt sich die Lastplatte in zwei Achsen kippen und auch in der Höhe verstellen. Ein gehärteter und geschliffener Gleitgewindetrieb mit einem Spindeldurchmesser von 5mm und einer Gewindesteigung von 0,5mm ermöglicht sehr feine Zustellbewegungen. Selbst im Vakuum und Reinraum laufen die Gleitgewindetriebe mit Sonderschmierung über eine lange Zeit störungsfrei. Für die XY-Bewegung sorgt der kompakt und robuste gebaute Durchlicht-Scantisch, auf dem der Tripod aufgesetzt ist. Hochpräzise Kugelgewindespindeln und eine justierbare Orthogonalität gewährleisten genaue Positionier- und Ablaufgenauigkeiten. Die Präzisions-Kugelgewindetriebe sind mit einer Zylinder-Einzelmutter mit Vierpunktkontakt und Einzelgangumlenkung ausgestattet. Als Zusatzausstattung stehen unter anderem Drehtische, Probenhalter, Motion Controller, Umhausungen sowie unterschiedliche Sicherheitskonzepte und -technik zur Verfügung. Auch Varianten für Reinraum, UV, DUV, nicht reflektierende Oberflächen, magnetische Umgebungen sowie Vakuum sind realisierbar.
Das Positioniersystem XYZ-Phi-Delta ist hochpräzise, einfach ansteuerbar, kompakt und für Millionen von Zyklen ausgelegt.
