Drucksensoren mit Parylene-Beschichtung

Für den Einsatz im Meerwasser oder mit aggressiven Medien bietet Baumer innerhalb des Produktsegments Process Instrumentation Drucksensoren mit Parylene-Beschichtung an. Die Beschichtung schützt vor Korrosion und erhöht die Lebensdauer der Messgeräte. Die Drucksensoren sind mit Metall-Dünnfilm-Membranen aus rostfreiem Stahl gefertigt. Bei Anwendungen im Meerwasser oder mit aggressiven Medien ist ein zusätzlicher Schutz der Membrane und der medienberührenden Teile gegen Spaltkorrosion empfehlenswert. Hierfür eignet sich Parylene C mit seinen chemischen Schutzeigenschaften. Es ist mechanisch stabil bei einer Dauereinsatztemperatur bis zu 150°C, resistent gegen Pilzbefall und Chemikalien, abriebfest und strahlungsbeständig. Es bietet eine hohe elektrische Isolation mit einer hohen Durchschlagfestigkeit. Das Material ist porenfrei ab 0,2µm Schichtdicke. Im Gegensatz zu konventionellen Beschichtungsmethoden ist mit Parylene laut Hersteller eine gleichmäßig dünne und porenfreie Beschichtung möglich, selbst in Fugen und Hohlräumen. Auch Innenbeschichtungen von Druckanschlüssen mit Kapillarzuführung, wie bei den im Schiffsbau eingesetzten PDR-Transmittern, sind realisierbar. Die Beschichtung einer Drucksensormembrane erfolgt als Batch-Fertigung im Vakuum. Durch das schonende Herstellungsverfahren und die dünne Beschichtung von 1 bis 50µm werden die Sensoreigenschaften wie Linearität oder Hysterese nicht beeinträchtigt. Die Parylene-Beschichtung ist bei allen Drucksensoren optional erhältlich. Vor allem in rauen Umgebungsbedingungen erhöht sie die Lebensdauer der Sensoren.