Piezo-Aktoren dehnen sich beim Einfluss eines elektrischen Feldes aus. Dabei arbeiten sie mit kurzen Ansprechzeiten von wenigen Millisekunden und ermöglichen dynamische Bewegungen von Lasten von wenigen Gramm bis hin zu einer Tonne und darüber. Da der Piezoeffekt auf Verschiebungen im Kristallgitter der piezoelektrischen Keramik basiert, ist die Bewegung reibungs- und verschleißfrei und besitzt eine Auflösung von weniger als 1nm. Piezoaktoren erzeugen keine Magnetfelder und werden auch nicht von solchen beeinflusst. Sich ändernde Umgebungstemperaturen beeinträchtigen den Piezoeffekt nicht. Überall, wo auf den Nanometer genau positioniert werden soll, sind piezobasierte Positioniersysteme deshalb heute praktisch ohne Alternative.