Fazit
Der große Messbereich kombiniert mit der hohen Genauigkeit soll dem Interferometer eine Vorreiterrolle in der optischen Präzisionsmesstechnik zuschreiben. Dies zeigt am Beispiel der Glasdickenmessung, die mit bis unter 1nm Auflösung erfolgt. Durch die Kombination konfokal-chromatischer Systeme zusammen mit den Interferometern entsteht sich ein leistungsstarkes Sensorportfolio, das den Anforderungen der Halbleiterindustrie, der Glasindustrie, der Medizintechnik und der Kunststoffproduktion gerecht wird.
