Der kompakte und hochdynamische Sensor ist ein berührungslos arbeitender, interferometrischer Messsensor für den Maschinenbau. Er übertrifft bisher verfügbare Sensortechnologien dieser Art in Präzision, Schnelligkeit und Industrietauglichkeit. So kann er bei einer Messbandbreite von 10MHz Objekte in bis zu drei Achsen mit einer Geschwindigkeit von 2m/s simultan verfolgen. Dabei erreicht der Sensor – bei Arbeitsabständen von bis zu 5m – eine Positionsauflösung von 10-12m. Kombiniert mit der von der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB) offiziell bestätigten Messabweichung von 0,0ppm bis 3m werden so Messgenauigkeiten möglich, die im industriellen Umfeld bislang nicht möglich waren. Einsatzbereiche des Sensor sind unter anderem zur Kalibrierung von Werkzeug- und Koordinatenmessmaschinen, zur Vibrationsmessung von Fertigungsanlagen, für hochpräzise Inline-Prozesskontrollen und Verstelltechnik, für Rundlaufmessungen von Motor-, Kurbel- und Nockenwellen sowie für ultrapräzise Pick&Place Robotikanwendungen, wie z.B. in der Halbleiterindustrie. Da die Messköpfe absolut nicht invasiv sind, kann der Sensor auch unter extremen Bedingungen, wie Ultrahoch-Vakuum, sehr hohen bzw. niedrigen Temperaturen (und radioaktiver Strahlung) eingesetzt werden. Zielmärkte sind neben dem Maschinenbau insbesondere die Mikrofertigungstechnik und die Halbleiterindustrie.
