Das XYZ-Positioniersystem zur automatisierten Inspektion hat Steinmeyer Mechatronik speziell für die Qualitätskontrolle von großen Wafern, Probecards und Leiterplatten entwickelt. Es erlaubt die Hochgeschwindigkeitspositionierung entlang zweier linearer Achsen und gewährleistet einen erhöhten Throughput. Das Inspektionssystem mit Verfahrwegen bis 720mm erlaubt die gleichzeitige Überprüfung mehrerer 300mm-Wafer oder einzelner bis 700x700mm großer Substrate mit Spitzengeschwindigkeiten von bis zu 1.000mm/s. Eisenlose Direktantriebe machen dieses hohe Tempo möglich. Aufgrund der Wiederholgenauigkeit von 0,3µm lassen sich präzise Messergebnisse erzielen. Die Z-Achse wurde für Sensoren und Kamerasysteme bis 5kg konzipiert. Die Vertikalverstellung kann dabei wahlweise fest, manuell, motorisch mit Spindel oder dynamisch mit pneumatisch entlastetem Direktantrieb für Höhenkompensation bei voll interpolierter Bewegung erfolgen. Auch die Prüflingsauflage ist applikationsspezifisch anpassbar, zur Wahl stehen geschliffene Platte, Platte mit Bohrraster und Chuck. Bei dem XYZ-System handelt es sich um eine Komplettlösung inklusive Stahlgestell und Luftdämpfern, wobei letztere zusammen mit der massiven, schweren Grundplatte aus Granit eine hervorragende Entkopplung gegenüber Bodenvibrationen sicherstellen – ideal für Messungen mit µm- und sub-µm-Auflösung. Befestigungsbohrungen für Gehäuseanbauten sind vorhanden. Das Inspektionssystem wird mit voll vermessener Genauigkeit sowie angepasster Verkabelung und Vakuumführung entsprechend der eingesetzten Sensorik und Wafer-Aufnahme geliefert und lässt sich durch Portalaufbau einfach in bestehende Linienprozesse integrieren. Eine Ausführung für höchste Reinraumansprüche bis ISO1 mit interner Absaugung und Partikelfallen ist optional verfügbar. Die Steuerung erfolgt über einen separaten Motion-Controller für drei Achsen, der sich unkompliziert in die vorhanden Steuerungsumgebungen einbinden lässt. DLL und API zur aufwandsarmen Softwareintegration sind erhältlich, ebenso Beckhoff oder ACS. Ein flexibles Wartungskonzept soll geringen Aufwand bei der Instandhaltung ermöglichen.
