Als hochgenaue und robuste Messlösung bietet die X-class-Produktlinie eine magnetische Alternative zu empfindlichen optischen Systemen, die häufig aufwändige Schutzvorrichtungen und laufende Wartungen benötigen, um unter rauen Bedingungen ohne Ausfälle zu arbeiten. Die Encoder basieren auf einer Polteilung des Maßstabs von 80µm, die Auflösung liegt unter 10nm und dies bei einer Genauigkeit von 5µm.
Fünfachs-Positioniersystem für die Halbleiterindustrie
Das Miniaturpositioniersystem XYZ-Phi-Delta von Steinmeyer Mechatronik besteht aus einem Tripod (MP200-3) und einem XY-Kreuztisch (KDT235) – beide mit Durchlichtöffnung – und soll so die Vorteile parallelkinematischer und gestapelter Systeme vereinen.