Fünfachs-Positioniersystem für die Halbleiterindustrie
Das Miniaturpositioniersystem XYZ-Phi-Delta von Steinmeyer Mechatronik besteht aus einem Tripod (MP200-3) und einem XY-Kreuztisch (KDT235) – beide mit Durchlichtöffnung – und soll so die Vorteile parallelkinematischer und gestapelter Systeme vereinen.