13.09.2019

Präzises Positioniersystem



Das System kombiniert Positioniergenauigkeiten besser als 1µm mit hohen Beschleunigungen und exakten Bewegungen.
Bild: Dr. Johannes Heidenhain GmbH

Das neue Telica-Bewegungssystem kombiniert Etel-Antriebstechnologie und Heidenhain-Messgeräte zu einer hochintegrierten Lösung, die Genauigkeit und Produktivität für die Halbleiter- und Elektronikindustrie bieten soll. Der Aufbau des Bewegungssystems ist auf hohe Positioniergenauigkeit ausgerichtet. In Kooperation wurde dafür eine spezielle Lösung zum Einbau der Messsysteme entwickelt. Dieser Aufbau entkoppelt die Messgeräte von einer möglichen Erwärmung z.B. durch den Antrieb und damit auch den Metrologiezirkel von thermisch bedingten Längenabweichungen.

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